[发明专利]一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构有效
| 申请号： | 202111389396.X | 申请日： | 2021-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN114264293B | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 穆清涛;史凯;陈晓峰;张智杰;黄树峰;王伟;王凯;常红飞;武雷 | 申请（专利权）人： | 陕西华燕航空仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 西安匠星互智知识产权代理有限公司 61291 | 代理人： | 华金 |
| 地址： | 723102 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种高抗振动型全对称MEMS陀螺仪传感器结构，传感器结构内、外框质量体分别由驱动轴电极稳定驱动，使其处于差分高频振荡，当有角速度信号输入时，内、外框质量体运动分别由敏感轴电极稳定检测并利用力反馈控制信号实现闭环控制。内、外框频率调节电极、正交补偿电极分别消除因加工误差等因数造成的质量体不对称，提高传感器结构工作效率。内、外框均具备独立陀螺仪效应及功能，合成差分的输出形式，有利提高输入信号的检测效率。该传感器结构能为MEMS陀螺仪信号处理电路提供抗干扰能力强，传感器信号强的基础器件，提升MEMS陀螺仪的性能和抗环境能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 对称 mems 陀螺仪 传感器 结构 | ||
【主权项】：
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