[发明专利]玻璃基板蒸镀装置在审
| 申请号： | 202111389658.2 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114086125A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 徐锐龙 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C03C17/09;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王亚琼 |
| 地址： | 510530 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种玻璃基板蒸镀装置，包括电极、蒸镀材料和多个支撑组件，电极位于玻璃基板的下方；玻璃基板设有多个成品区域和围绕在成品区域周围的废料区域；电极的顶面用于铺设蒸镀材料；多个支撑组件支撑于电极与玻璃基板之间，并使蒸镀材料的顶部与玻璃基板之间形成有间隙，间隙用于通入冷却气体，支撑组件抵接于玻璃基板的废料区域。通过支撑组件支撑玻璃基板，且支撑组件避开玻璃基板的成品区域，抵接于玻璃基板的废料区域，蒸镀后将玻璃基板的废料区域切除，成品区域制成显示面板，即使支撑组件与玻璃基板的接触位置因受热不均而出现显示不良的问题，由于显示不良仅存在于废料区域，最终会被切除，不会导致显示面板出现显示不良。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 基板蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
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