[发明专利]一种高精度光刻胶用树脂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202111391252.8 申请日: 2021-11-23
公开(公告)号: CN114133474A 公开(公告)日: 2022-03-04
发明(设计)人: 朱晓群;聂俊;李三保 申请(专利权)人: 南京极速优源感光材料研究院有限公司
主分类号: C08F212/08 分类号: C08F212/08;C08F220/18;C08F212/14;C08F220/34;C08F222/14;G03F7/004
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 李静
地址: 211110 江苏省南京市江宁区将军*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明属于光刻胶技术领域,具体涉及一种高精度光刻胶用树脂及其制备方法。为采用化合物(A)、苯乙烯、衣康酸酯和甲基丙烯酸酯为聚合单体,通过自由基聚合反应,制备得到所述光刻胶用树脂;所述化合物(A)具有如下结构式:本发明通过以含不饱和双键的胺类化合物作为聚合单体,使得制备的光刻胶用树脂,利用胺吸收光产酸的酸,从而避免光产酸的酸扩散到非曝光区导致的图案精度降低的问题,提高了光刻图案的高精度。
搜索关键词: 一种 高精度 光刻 树脂 及其 制备 方法
【主权项】:
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