[发明专利]一种高精度光刻胶用树脂及其制备方法在审
申请号: | 202111391252.8 | 申请日: | 2021-11-23 |
公开(公告)号: | CN114133474A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 朱晓群;聂俊;李三保 | 申请(专利权)人: | 南京极速优源感光材料研究院有限公司 |
主分类号: | C08F212/08 | 分类号: | C08F212/08;C08F220/18;C08F212/14;C08F220/34;C08F222/14;G03F7/004 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 李静 |
地址: | 211110 江苏省南京市江宁区将军*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明属于光刻胶技术领域,具体涉及一种高精度光刻胶用树脂及其制备方法。为采用化合物(A)、苯乙烯、衣康酸酯和甲基丙烯酸酯为聚合单体,通过自由基聚合反应,制备得到所述光刻胶用树脂;所述化合物(A)具有如下结构式: |
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搜索关键词: | 一种 高精度 光刻 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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