[发明专利]高温条件下制备具有可调控褶皱结构柔性薄膜的方法及其应用在审
| 申请号： | 202111391287.1 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114351090A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 谢亚丽;黄凯;李润伟;杨华礼 | 申请（专利权）人： | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 李魏 |
| 地址： | 315201 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种高温条件下制备具有可调控褶皱结构柔性薄膜的方法，包括以下步骤：S1.将云母衬底进行机械解离，解离出新表面后用银胶将云母衬底背面粘贴在高温样品托表面，并放置在加热台上烘干；S2.将烘干后的高温样品托送入磁控溅射腔体中，磁控溅射云母衬底并生长出薄膜；S3.通过拉伸模具将柔性衬底进行预拉伸；S4.将生长有薄膜一面的云母衬底贴合在预拉伸的柔性衬底上，烘干后进行机械剥离，控制拉伸模具释放预拉伸，得到褶皱结构柔性薄膜，与现有技术相比，本发明的薄膜柔性化方法适用于在高温下生长和褶皱结构可调控柔性薄膜的制备；本发明还提供了一种具有可调控褶皱结构柔性薄膜在电子领域中的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 条件下 制备 具有 调控 褶皱 结构 柔性 薄膜 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所，未经中国科学院宁波材料技术与工程研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111391287.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双滚筒组合式花生捡拾装置
- 下一篇：一种油烟机及油烟机的控制方法
- 同类专利
- 专利分类
