[发明专利]一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法在审
| 申请号： | 202111401739.X | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114217097A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 卢明明;赵宇亮;徐建勋;王嘉豪;畅泽君 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38;G01Q60/42;G01Q70/16;G01Q70/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 朱芳 |
| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石墨烯功能化硅基探针的制备方法。本发明提出的石墨烯功能化硅基探针，采用离子液对探针样品进行碳化预处理，利用预先在探针表面镀上的碳层对硅基针尖进行保护，在石墨烯生长的高温淬火过程中，有效避免了金属镀层与硅基探针之间的反应，使得石墨烯成功在探针表面生长的同时，维持了探针针尖形貌，针尖表面平整，针尖直径保持纳米尺寸。本发明方法制备的石墨烯功能化硅基探针拥有优良的针尖锐利度、导电性能和抗氧化性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 功能 化硅基 探针 制备 方法 | ||
【主权项】：
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