[发明专利]振动器件在审
| 申请号： | 202111405028.X | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114553142A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 井富登 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03B5/04 | 分类号： | H03B5/04;H03B5/32 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李庆泽;邓毅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 振动器件，能够抑制由于电容耦合而产生振荡特性的劣化。振动器件(1)包含：基座(2)，其包含半导体基板(20)和贯通半导体基板(20)的第1面(21)与第2面之间的贯通电极(40)；振动元件(5)，其配置于第1面(21)侧；以及外部连接端子(91)，其隔着绝缘层(80)设置于第2面(22)侧。在第2面(22)配置有：振荡电路(11)，其经由贯通电极(40)与振动元件(5)电连接，使振动元件(5)振荡而生成振荡信号；以及输出缓冲电路(12)，其输出基于振荡信号的时钟信号，从外部连接端子(91)输出来自输出缓冲电路(12)的时钟信号。贯通电极(40)和外部连接端子(91)被配置成，在从与第1面(21)正交的方向俯视时不重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 振动 器件 | ||
【主权项】：
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