[发明专利]一种用于化学机械研磨设备的研磨头在审
| 申请号： | 202111406652.1 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114310657A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 左少杰;李春龙;刘小俊;卓鸿俊 | 申请（专利权）人： | 北京子牛亦东科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B53/017 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 张晓玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济技术开发区科谷一街10*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种用于化学机械研磨设备的研磨头，其通过在挡圈外围设置整理环和位于所述整理环上方的环形气囊，使研磨头兼具研磨功能和整理功能，简化了结构设计。另外，由于本发明将整理环集成在研磨头上，因此，相比现有技术，本发明解决了整理器与研磨头容易相撞的问题。此外，本发明的整理环的下表面积比现有的整理器的下表面积更大，因此，提高了对研磨垫的整理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京子牛亦东科技有限公司，未经北京子牛亦东科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111406652.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于电气工程的节能型温度控制柜
- 下一篇：黑苦荞韧弹护肩云朵枕
