[发明专利]金属互连线的峰值电流计算评估方法

摘要

本发明提供一种金属互连线的峰值电流计算评估方法，提供多组衬底；在多组衬底上形成具有不同设计宽度的金属互连线测试结构；选取多组衬底上的die，对多组金属互连线结构施加逐渐增大的脉冲电压，得到多组金属互连线结构施的可承受最大峰值电流密度的数据；根据数据拟合峰值电流密度与设计宽度的关系，得到预测区间；根据预测区间的下限得到拟合曲线，拟合曲线作为工艺验证测试标准的参考依据。本发明针对金属互连线宽度与峰值电流密度实测数据，总结得到对应关系公式，公式将对金属互连线设计提供参考；对实测数据进行统计学分析得到95％的预测区间，预测区间下限则可以作为可靠性测试标准参考。