[发明专利]过滤阴极电弧法制备高性能BaSnO3基透明导电薄膜在审
| 申请号： | 202111410376.6 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114122146A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 姚建可;唐杰;汤皎宁;郑逸 | 申请（专利权）人： | 深圳戴尔蒙德科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;H01L29/43;H01L29/49;H01L21/336;C23C14/08;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保街道*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了过滤阴极电弧法制备高性能BaSnO3基透明导电薄膜，包括以下步骤：在玻璃或塑料基底制备多晶BaSnO |
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| 搜索关键词： | 过滤 阴极 电弧 法制 性能 basno3 透明 导电 薄膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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