[发明专利]一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒有效
| 申请号： | 202111411291.X | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114086241B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 宋振亮;宋少杰 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B30/04;C30B15/20 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 姚勇政;李斌栋 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种单晶硅棒的拉制方法及单晶硅棒；所述拉制方法包括：在单晶硅棒的等径生长初始阶段，设置水平磁场的起始高度高于硅熔液的自由表面；在所述单晶硅棒的等径生长过程中，通过改变所述水平磁场对所述硅熔液对流的控制强度以使得所述单晶硅棒沿轴向自头部至尾部方向上的氧浓度呈下降趋势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 拉制 方法 | ||
【主权项】：
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