[发明专利]空间光束偏移校正装置及方法在审
申请号: | 202111411628.7 | 申请日: | 2021-11-23 |
公开(公告)号: | CN114114582A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 崔成君;王国名;董登峰;张滋黎;周维虎;王宇;潘映伶;孟繁昌;冯天赐 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B26/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊晓 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本公开涉及一种空间光束偏移校正装置和方法,包括:沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒和双斜平板安装筒,双光楔安装筒和双斜平板安装筒的中心轴线与理想光轴重合;第一光楔和第二光楔,分别安装于双光楔安装筒内并可绕理想光轴旋转,入射光束依次经第一光楔和第二光楔调节后的调整光束平行于理想光轴;第一斜平板和第二斜平板,分别安装于双斜平板安装筒内并可绕理想光轴旋转,调整光束依次经第一斜平板和第二斜平板调节后的出射光束重合于理想光轴。本公开采用相对旋转的双光楔和双斜平板分别校正了光束的二维角度与二维平移量,且校正过程中,两者互不影响,有效提高了仪器光学系统装调效率,同时结构简单、操作方便、分辨率高、稳定性好。 | ||
搜索关键词: | 空间 光束 偏移 校正 装置 方法 | ||
【主权项】:
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