[发明专利]空间光束偏移校正装置及方法在审

专利信息
申请号: 202111411628.7 申请日: 2021-11-23
公开(公告)号: CN114114582A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 崔成君;王国名;董登峰;张滋黎;周维虎;王宇;潘映伶;孟繁昌;冯天赐 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00;G02B26/08
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 樊晓
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本公开涉及一种空间光束偏移校正装置和方法,包括:沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒和双斜平板安装筒,双光楔安装筒和双斜平板安装筒的中心轴线与理想光轴重合;第一光楔和第二光楔,分别安装于双光楔安装筒内并可绕理想光轴旋转,入射光束依次经第一光楔和第二光楔调节后的调整光束平行于理想光轴;第一斜平板和第二斜平板,分别安装于双斜平板安装筒内并可绕理想光轴旋转,调整光束依次经第一斜平板和第二斜平板调节后的出射光束重合于理想光轴。本公开采用相对旋转的双光楔和双斜平板分别校正了光束的二维角度与二维平移量,且校正过程中,两者互不影响,有效提高了仪器光学系统装调效率,同时结构简单、操作方便、分辨率高、稳定性好。
搜索关键词: 空间 光束 偏移 校正 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所,未经中国科学院微电子研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202111411628.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top