[发明专利]一种晶圆干燥系统和晶圆干燥方法在审
| 申请号： | 202111414747.8 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114136068A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张康;舒福璋;崔凯 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B5/08;F26B21/10;F26B21/14;F26B25/18;H01L21/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 沈惠娟 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆干燥系统和晶圆干燥方法。晶圆干燥系统包括：旋转式双面梯度干燥装置；旋转式双面干燥装置包括：旋转卡盘，适于从侧部固定晶圆进行水平旋转；梯度干燥组件，梯度干燥组件包括上部组件和下部组件，旋转卡盘位于上部组件和下部组件之间；梯度干燥组件适于在晶圆水平旋转时，从上下两侧同时对晶圆进行梯度干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 干燥 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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