[发明专利]双极晶体管及其制备方法在审
申请号: | 202111414757.1 | 申请日: | 2021-11-25 |
公开(公告)号: | CN114122110A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 魏佳男;张培健;罗婷;陈仙;税国华;仵韵辰;易孝辉;洪敏;任芳 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/735;H01L21/331 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 李铁 |
地址: | 400060 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: |
本发明提供了一种双极晶体管及其制备方法,所述双极晶体管包括:衬底、外延层、基区、发射区、深集电极接触区、环形掺杂区、基极接触、发射极接触及环形集电极接触,环形掺杂区环绕基区,环形集电极接触分别与深集电极接触区及环形掺杂区电连接。通过包围基区和发射结的环形掺杂区,以及与环形掺杂区电连接的环形集电极接触,形成了一个抗总剂量加固结构,该抗总剂量加固结构在上电时会形成一个环形电场,该环形电场可使发射结注入基区的少数载流子能够沿多个方向的传输路径被集电结收集,降低了电流传输路径上的载流子浓度,削弱了基区中少子向界面位置的扩散,降低了基区Si/SiO |
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搜索关键词: | 双极晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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