[发明专利]一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法有效
| 申请号： | 202111415516.9 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114107918B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;宋阳阳;吴东青 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 牛海燕 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，所述方法包括以下步骤：(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢；所述方法通过螺纹加工以及冷等静压工艺得到了无明显焊缝且结合力佳的高纯铝旋转靶。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 旋转 静压 绑定 方法 | ||
【主权项】：
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