[发明专利]一种将金属电极转移至二维材料上的方法在审
| 申请号： | 202111420791.X | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114203541A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 叶镭;林润峰;黄鑫宇;童磊;彭追日;李政;徐浪浪;缪向水 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;湖北江城实验室 |
| 主分类号： | H01L21/285 | 分类号： | H01L21/285 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 汪洁丽 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种将金属电极转移至二维材料上的方法，其包括：获取待转移结构，所述待转移结构包括衬底、形成于衬底上的过渡层以及形成于过渡层上的金属电极图案；对所述过渡层进行湿法刻蚀，去除未被金属电极图案覆盖的所述过渡层；通过有机柔性材料将待转移结构中的金属电极图案从所述过渡层上整体粘起并贴合至目标结构中的二维材料上；去除所述有机柔性材料，完成金属电极与二维材料的范德华接触。通过引入过渡层并结合湿法刻蚀和干法转移，使得容易实现待转移图案的整体剥离，大大提高了制备的成功率，且通过范德华力结合金属电极和二维材料，能够大大提高两者的接触性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属电极 转移 二维 材料 方法 | ||
【主权项】：
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