[发明专利]一种碲硒砷镉化合物、靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 202111429740.3 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114014663B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 李青霄;张心会;徐开东;王继娜;李志新;王朝勇;徐龙云;包云;杨欢;丁凌凌;李文静 | 申请（专利权）人： | 河南城建学院 |
| 主分类号： | C04B35/547 | 分类号： | C04B35/547;C04B35/622;C04B35/645;C23C14/06 |
| 代理公司： | 郑州中原专利事务所有限公司 41109 | 代理人： | 张春;范小方 |
| 地址： | 467036 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碲硒砷镉化合物/靶材及制备方法，由摩尔比为(60‑90):(0.999‑39.99):(0.001～0.01)的碲化镉颗粒、碲硒镉颗粒和砷化镉颗粒研磨成粉、混匀，将混匀的物料装入石墨坩埚中，或者将混匀的物料放入模具中室温压片成靶材坯，压片成形的靶材坯装入石墨治具内，石墨治具放入真空烧结炉内，在真空烧结炉内压实，真空状态加热烧结，自然降温至室温，打开真空烧结炉即得到碲硒砷镉化合物/靶材。上述制备方法能够适应市场规模化生产需求，工序简单、环境友好。制备出的碲硒砷镉化合物结晶度好，制备出的碲硒砷镉靶材相对密度高于90％（晶粒尺寸小于300nm）。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碲硒砷镉 化合物 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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