[发明专利]高熵合金旋转靶材及其冷喷涂的制备方法在审
| 申请号： | 202111433186.6 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114086142A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 徐从康;贺涛;马赛;陈箫箫 | 申请（专利权）人： | 亚芯半导体材料（江苏）有限公司;亚芯电子科技（常州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C24/04;B22F9/04;B22F1/142 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人： | 赵慧 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及高熵合金靶材制备技术，尤其是一种高熵合金旋转靶材及其冷喷涂的制备方法。其中所述采用冷喷涂制备高熵合金旋转靶材的方法，包括以下步骤：步骤1，对金属粉末进行球磨预合金化，得到预合金化粉末；步骤2，对所述预合金化粉末在真空下进行退火后，研磨、过筛，制得预处理粉末；步骤3，对基材进行预处理，得到预处理基材；步骤4，将所述预处理粉末冷喷涂到所述预处理基材的表面。本发明的是冷喷涂工艺，制备的靶材纯度高、含氧量低。冷喷涂时，颗粒的速度大，固态颗粒高速到达基体表面产生塑性变形，后续颗粒又不断冲击前期颗粒使得靶材不断致密化，故靶材的密度高。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 旋转 及其 喷涂 制备 方法 | ||
【主权项】：
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