[发明专利]一种薄膜探针卡及其探针头有效
| 申请号： | 202111433598.X | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114200280B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;于海超;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 徐丹 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜探针卡及其探针头，该薄膜探针卡包括薄膜探针头（3），该薄膜探针头（3）包括支撑体（31）、薄膜（32）、探针（33）、互连线（34）；支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间设有一凹陷支撑结构（35），凹陷支撑结构（35）包括一凹陷结构（351）以及一支撑弹性层（352），凹陷结构（351）包括一个或多个凹陷（3511），凹陷（3511）与探针（33）位置相对应，且各凹陷（3511）与对应的探针（33）相偏心；支撑弹性层（352）的凸起嵌块（3521）嵌入对应凹陷（3511）中，以此使支撑弹性层（352）上位于每个探针（33）两侧的部分具有厚度差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 探针 及其 | ||
【主权项】：
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