[发明专利]一种直接式振镜校正系统及校正方法在审

专利信息
申请号: 202111434310.0 申请日: 2021-11-29
公开(公告)号: CN114029611A 公开(公告)日: 2022-02-11
发明(设计)人: 黄曦凌;王丽;刘昆;汪于涛;骆工序 申请(专利权)人: 上海市激光技术研究所
主分类号: B23K26/082 分类号: B23K26/082;B23K26/70;G02B26/10
代理公司: 上海九泽律师事务所 31337 代理人: 周云
地址: 200000 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明适用于激光加工技术振镜校正领域,提供了一种直接式振镜校正系统,它包括:振镜控制模块,振镜扫描模块,CCD图像采集装置,CCD图像处理模块和校正处理模块。本发明还提供了上述直接式振镜校正系统的校正方法,包括5个步骤。本发明通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像,消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源,消除了外部光源不稳定导致的误差。本发明结构简单、稳定且无运动部件,消除了单点采集的电机运动误差。
搜索关键词: 一种 直接 式振镜 校正 系统 方法
【主权项】:
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