[发明专利]一种直接式振镜校正系统及校正方法在审
申请号: | 202111434310.0 | 申请日: | 2021-11-29 |
公开(公告)号: | CN114029611A | 公开(公告)日: | 2022-02-11 |
发明(设计)人: | 黄曦凌;王丽;刘昆;汪于涛;骆工序 | 申请(专利权)人: | 上海市激光技术研究所 |
主分类号: | B23K26/082 | 分类号: | B23K26/082;B23K26/70;G02B26/10 |
代理公司: | 上海九泽律师事务所 31337 | 代理人: | 周云 |
地址: | 200000 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明适用于激光加工技术振镜校正领域,提供了一种直接式振镜校正系统,它包括:振镜控制模块,振镜扫描模块,CCD图像采集装置,CCD图像处理模块和校正处理模块。本发明还提供了上述直接式振镜校正系统的校正方法,包括5个步骤。本发明通过激光在直接在CCD图像采集装置上成像,消除了激光在校正板上灼烧不均匀导致的误差。无需外部光源,消除了外部光源不稳定导致的误差。本发明结构简单、稳定且无运动部件,消除了单点采集的电机运动误差。 | ||
搜索关键词: | 一种 直接 式振镜 校正 系统 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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