[发明专利]一种沉积均匀的磁控管及其设计方法在审
| 申请号： | 202111438395.X | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114218625A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 唐云俊;王昱翔 | 申请（专利权）人： | 浙江艾微普科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/10 | 分类号： | G06F30/10;G06F30/20;G06F17/18;C23C14/35 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 王大国 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种沉积均匀的磁控管，包括外磁极磁铁和内磁极磁铁，且外磁极磁铁和内磁极磁铁磁极性相反，外磁极磁铁和内磁极磁铁构成闭合环，此闭合环形成等离子体轨道，所述等离子体轨道中心线的长度L分布随靶材中心距离(x)的变化为L＝ax |
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| 搜索关键词： | 一种 沉积 均匀 磁控管 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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