[发明专利]介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置在审
| 申请号： | 202111439143.9 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN116196910A | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 杨亮;石文波;李庆伟;吴克难;赵天亮;周冬建;回晓康;金玉奇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院大连化学物理研究所 |
| 主分类号： | B01J20/34 | 分类号： | B01J20/34;B01D53/02 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 汪海 |
| 地址： | 116023 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种介质阻挡放电等离子体增强大体积吸气剂吸附速率的装置，包括真空腔室、加热棒、吸气剂容器、金属电极介质板、扩压器、供气系统、气压采集系统、抽真空系统和放电系统，其中真空腔室前端与扩压器连接，所述扩压器与供气系统连接，真空腔室后端分别通过管路与抽真空系统和气压采集系统连接，吸气剂容器和金属电极介质板交错设于所述真空腔室中，且所述吸气剂容器内设有加热棒和吸气剂材料，所述金属电极介质板下端与设于真空腔室外侧的放电系统相连。本发明保证大体积吸气剂封装反应的同时，通过加热棒的加热耦合能量以及等离子体中产生的活性物种可加快整个装置中吸气剂的吸气速率。 | ||
| 搜索关键词： | 介质 阻挡 放电 等离子体 增强 体积 吸气 吸附 速率 装置 | ||
【主权项】：
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