[发明专利]一种锌掺杂氧化铟粉体、溅射靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202111442278.0 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN113956022A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;孙本双;曾学云;刘超飞;刘笑开;王之君;刘苗;陈杰;舒永春;何季麟 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京鹏帆慧博知识产权代理有限公司 11903 | 代理人： | 刘琳 |
| 地址： | 450000 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种锌掺杂氧化铟粉体、溅射靶材及其制备方法，属于新材料技术领域。本发明采用水热法一步合成了锌掺杂氧化铟的前驱体粉末，反应体系稳定，所得锌掺杂氧化铟粉体纯度高、晶型分布均匀，分散性好、结晶度高；该粉体烧结后所得溅射靶材晶粒尺寸细小、分布均匀、致密度高。本申请从粉体的制备，到成形及烧结工艺，整个流程简便，成本低，适于工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 铟粉体 溅射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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