[发明专利]一种基于微纳波导倏逝场耦合的单片式光学MEMS加速度计有效
| 申请号： | 202111444321.7 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114137254B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 辛晨光;张钟瑶;李孟委;金丽;范长江 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明属于微机电系统和微惯性器件技术领域，具体涉及一种基于微纳波导倏逝场耦合的单片式光学MEMS加速度计，包括输入硅纳米线、弯曲硅纳米线、输出硅纳米线、质量块、悬臂梁、支撑结构，所述弯曲硅纳米线固定在质量块上，所述弯曲硅纳米线的一端与输入硅纳米线耦合，所述弯曲硅纳米线的另一端与输出硅纳米线耦合，所述质量块通过悬臂梁与支撑结构连接，所述输入硅纳米线、弯曲硅纳米线均固定在支撑结构上。本发明基于光学原理，通过检测波导中光功率变化实现加速度检测，具有免疫电磁干扰和外界环境光干扰的特点；根据微纳波导倏逝场耦合原理，极其微小的位移将会引起耦合效率的剧烈变化，具有很高的测量灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波导 倏逝场 耦合 单片 光学 mems 加速度计 | ||
【主权项】：
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