[发明专利]对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法在审

专利信息
申请号: 202111445202.3 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN113932843A 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 杨奇;邹蕊矫;舒琳;罗跃川;李恪宇;蒋涛;阎大伟;王雪敏;彭丽萍;吴卫东 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01D18/00 分类号: G01D18/00;G05D27/02
代理公司: 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 代理人: 贾晓燕
地址: 621000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法,包括:测试腔,其内设置有放置待测传感器样品的平台;设置在与测试腔上方的盖体,其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口;设置在平台下方的第一加热机构;设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组;与传感器组通信连接的控制器;与测试腔相配合的真空泵;与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法,提供多个环境场景的在线检测需要,保证检测信号的稳定性和可靠性。
搜索关键词: 温湿度 压力 进行 控制 传感器 测试 应用 方法
【主权项】:
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