[发明专利]基于光矢量分解合成及惠更斯-菲涅尔的矢量衍射算法

摘要

本发明提供了基于光矢量分解合成及惠更斯‑菲涅尔的矢量衍射算法，包括如下步骤：对沿x方向偏振的入射光，其传播到探测面上任意一点(x,y)，将x方向的电场强度Ex分解为s光Es和p光Ep，入射光传播到探测面Es不改变方向，Ep改变方向；对改变方向的Ep和不改变方向的Es重新进行矢量合成，得到x，y和z方向的分量E’x、E’y、E’z；将分量E’x、E’y、E’z的表达式带入惠更斯‑菲涅尔衍射公式得到矢量的惠更斯‑菲涅尔衍射。本发明获得的矢量的惠更斯‑菲涅尔衍射和Richard‑Wolf矢量衍射公式进行模拟对比可知，二者差别很小，仅在高数值孔径下有细微的差别，且本算法理论原理简单明了、计算方便。