[发明专利]一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置在审
| 申请号： | 202111446316.X | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114373671A | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李少哲;陈庆禧;戴亦阳;胡嘉忆;宋凯;刘新 | 申请（专利权）人： | 南京林业大学 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/30 |
| 代理公司： | 北京力致专利代理事务所(特殊普通合伙) 11900 | 代理人： | 朱静谦 |
| 地址： | 210037 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双尺寸微腔等离子体紫外光发生装置，涉及紫外光技术，包括：脉冲电源、连接器、电极垫、高压电极、第一石英介质层、微腔、气体填充室、第二石英介质层、低压电极、中空石英框、进气口、改性小球、镂空支撑柱，准分子灯在内部气体被电离时，可以产生波长范围很窄的紫外光谱，并且波长选择性好，紫外光辐照面积大，克服了汞灯在紫外应用中的缺点，能有效应用于废水废气处理、刻蚀、材料表面改性、薄膜沉积等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 等离子体 紫外光 发生 装置 | ||
【主权项】：
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