[发明专利]一种能实现自由旋转的电气导通工作台有效

专利信息
申请号: 202111453037.6 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114179046B 公开(公告)日: 2022-10-14
发明(设计)人: 宋勇超;刘轩;李志强;周伟;俞勤;陈楚杰;胡洋;黄金鹏;黄蓉 申请(专利权)人: 深圳市华腾半导体设备有限公司
主分类号: B25H1/14 分类号: B25H1/14;B25B11/00
代理公司: 深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374 代理人: 张曾明
地址: 518000 广东省深圳市南山区桃源街道*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种能实现自由旋转的电气导通工作台,包括安装底座、驱动电机、芯体以及吸附组件,所述驱动电机包括定子以及转子,所述定子安装在所述安装底座上,所述转子安装在所述定子上并可相对所述定子进行θ轴旋转;所述吸附组件包括吸盘,所述吸盘安装在所述转子上,所述吸盘上形成有用于真空吸附的第一真空通道;所述芯体穿过所述定子及所述转子安装在所述吸盘与所述安装底座之间,所述芯体上形成有用于真空吸附的第二真空通道,所述第二真空通道的一端与所述第一真空通道连通,以用于对待加工产品进行吸附固定;所述第二真空通道的另一端露出于所述安装底座。该能实现自由旋转的电气导通工作台可有效避免吸盘在长期使用后发生倾斜,还可使吸盘可实现无限旋转。
搜索关键词: 一种 实现 自由 旋转 电气 工作台
【主权项】:
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