[发明专利]废气处理装置的控制方法及废气处理装置在审
| 申请号： | 202111454387.4 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114216130A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张坤;杨春水;杨春涛;宁腾飞 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06;F23G5/50 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 周琦 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种废气处理装置的控制方法及废气处理装置，废气处理装置的控制方法包括：获取通入反应腔的废气类型；根据废气类型获取设定温度；根据设定温度调节反应腔的加热温度。本发明根据不同类型废气处理所需要的反应温度不同，传送不同的信号至废气处理装置，控制反应腔的加热温度的高低，即控制为反应腔提供加热温度的燃料CH |
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| 搜索关键词： | 废气 处理 装置 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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