[发明专利]一种超薄可拉伸薄膜电极的制备方法在审

专利信息
申请号: 202111455377.2 申请日: 2021-12-01
公开(公告)号: CN114360809A 公开(公告)日: 2022-04-15
发明(设计)人: 刘志远;李光林;谢瑞杰;赵阳;于玫;李韩飞 申请(专利权)人: 中国科学院深圳先进技术研究院
主分类号: H01B13/00 分类号: H01B13/00;H01B5/14;A61B5/268
代理公司: 北京市诚辉律师事务所 11430 代理人: 范盈;李玉娜
地址: 518055 广东省深圳*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种超薄可拉伸薄膜电极的制备方法,将二甲基硅氧烷与交联剂混合后,滴于水相液面,加热预固化后得到聚二甲基硅氧烷薄膜,转移到环形衬底上得到电极基底;将电极基底吸附在硅片上,并在电极基底上的聚二甲基硅氧烷薄膜上蒸镀金属导电层,得到电极。本发明通过液体表面铺展法制备聚二甲基硅氧烷薄膜,预固化后,在其表面蒸镀金属制备导电层,同时聚二甲基硅氧烷薄膜完全固化,部分金属渗入到薄膜中,显著增加了导电层与基底的作用力,使得所制备的薄膜电极具有优异的稳定性。本发明提供的电极,其厚度可小于10μm,与皮肤具有较好地贴附,能够实现对人体生理电信号的高性能监测。
搜索关键词: 一种 超薄 拉伸 薄膜 电极 制备 方法
【主权项】:
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