[发明专利]一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装及镀膜方法有效
| 申请号： | 202111455549.6 | 申请日： | 2021-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN114351105B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 李莎;蹤雪梅;冯森 | 申请（专利权）人： | 江苏徐工工程机械研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 王玉 |
| 地址： | 221004 江苏省徐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜机用多规格密封圈镀膜工装，包括圆柱形支撑底座和悬挂齿臂，所述支撑底座外圆周面排布有多个限位卡槽，所述悬挂齿臂悬挂在所述限位卡槽内；所述悬挂齿臂至少设有两个，且两个悬挂齿臂为一组。本发明还公开一种镀膜方法，使用上述的密封圈镀膜工装进行密封圈镀膜，将所述密封圈镀膜工装放在真空镀膜机的真空室中心轴线上随转盘进行转动即可完成镀膜。本发明可以在真空室腔体尺寸、靶极距不变的情况下，实现单次密封圈加工数量的数倍增长，可适应不同尺寸密封圈的镀膜，在不影响密封圈镀膜强化效果的同时，提高镀膜效率，降低镀膜成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机用多 规格 密封圈 镀膜 工装 方法 | ||
【主权项】：
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