[发明专利]一种基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法

摘要

本发明公开了一种基于双光子聚合3D打印的微纳米结构加工方法，包括涂胶、双光子激光曝光、显影以及清洗步骤，在清洗步骤中：将显影后的微纳米结构置于低表面张力溶剂中，同时进行紫外光原位固化。本发明解决了镂空、易碎结构在显影、清洗过程中的坍塌问题，拓宽了双光子聚合3D打印的可加工范围；在相同激光功率参数下，保证打印结构质量的前提下大幅提高双光子聚合3D打印的速度，提高加工效率；在相同打印速度下，保证结构打印质量的前提下降低激光功率阈值，减少在打印过程中由于激光能量局域导致过热而产生的气泡，提高打印良率。