[发明专利]多孔质玻璃母材的制造方法及制造装置在审
| 申请号： | 202111462967.8 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN114620934A | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 野田直人 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03B37/014 | 分类号： | C03B37/014;C03B19/14;C03B8/04 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 江耀锋 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | [问题]本发明提供一种使用有机硅氧烷原料的多孔质玻璃母材的制造方法及制造装置。[解决手段]本实施方式的多孔质玻璃母材的制造装置12将作为原料的液体状态的有机硅氧烷与载气在气化器6内混合，通过加热使之气化后作为气体原料供给到燃烧器13，使通过气体原料的燃烧而产生的玻璃微粒子沉积在起始材料上，由此制造多孔质玻璃母材，且具备将载气中的水分去除后将载气供给到气化器的水分去除机构8。由此，在使用液体状态的有机硅氧烷作为玻璃微粒子的原料的情况下，可抑制在气化器内气化时产生聚合物质。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔 玻璃 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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