[发明专利]一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法有效

专利信息
申请号: 202111467057.9 申请日: 2021-12-03
公开(公告)号: CN114089455B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 杨文胜;许永德;于果;马骁楠;郭子龙;韩延东 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: G02B5/08 分类号: G02B5/08;G02B5/28;G02B1/10
代理公司: 天津展誉专利代理有限公司 12221 代理人: 郑晓晨
地址: 300000*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种近紫外区分布式布拉格反射镜的制备方法,属于分布式布拉格反射镜制备技术领域,具体步骤为:以石英、蓝宝石或硅片等作为基底,通过层/层旋涂特制的SiO2和TiO2的胶体溶液,可以得到高、低折射率交替的多周期介电层,即近紫外区分布式布拉格反射镜。由于本发明的实验步骤经由溶胶‑凝胶途径,仅通过调节TiO2胶体溶液的浓度,即稀释倍数就能制备出反射光谱位于近紫外区域308~380 nm的5周期的分布式布拉格反射镜,因此,该工艺的造价成本低、环境友好、且其制备过程更加精准可控。
搜索关键词: 一种 紫外 区分 布拉格 反射 制备 方法
【主权项】:
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