[发明专利]一种用于超快扫描二次电子成像的E-T探测器在审
| 申请号： | 202111468462.2 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114203503A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 付学文;陈祥;张亚卿;刘芳 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | H01J37/09 | 分类号： | H01J37/09;H01J37/16;H01J37/29 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 刘美丽 |
| 地址： | 300071 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于超快扫描二次电子成像的E‑T探测器，该探测器包括承载本体、光电倍增管、光导管、闪烁体、栅网和滤光片；所述承载本体内依次设置有光电倍增管、光导管和闪烁体；位于所述闪烁体前方的所述承载本体前端设置所述栅网；所述光电倍增管和所述光导管之间设置有至少一个滤光片。本发明通过增加滤光片以及增镀铝膜，实现降低泵浦光与杂散光源对超快扫描成像的干扰，提升图像的信噪比，获得高质量的超快电子扫描图像。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 二次电子 成像 探测器 | ||
【主权项】：
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