[发明专利]一种二氧化碲用抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 202111469663.4 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114015361A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 杨安;黄雪丽;尹士平 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴晓静 |
| 地址： | 239000 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及晶体材料加工技术领域，尤其涉及一种二氧化碲用抛光液及其制备方法。所述二氧化碲用抛光液包括：金刚石微粉0.0001wt％～12wt％；柠檬酸0wt％～2wt％；余量的矿物油。本发明提供的二氧化碲用抛光液采用金刚石微粉作为磨料，矿物油为溶剂，柠檬酸为pH值调节剂，各组分在特定的配比下协同作用，最终得到的二氧化碲用抛光液抛光处理后的二氧化碲晶体的表面粗糙度较低，无划伤、凹坑和麻点等缺陷。实验结果表明，本发明制备的二氧化碲用抛光液抛光处理后的二氧化碲晶体的表面粗糙度明显更低，不超过0.6nm，无划伤、凹坑和麻点等缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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