[发明专利]一种酸浴、铜沉积物及均镀剂的制备方法在审
| 申请号： | 202111472800.X | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114086223A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 张志恒 | 申请（专利权）人： | 永星化工（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 李鑫伟 |
| 地址： | 200540 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及沉积铜技术领域，具体一种酸浴、铜沉积物及均镀剂的制备方法。一种酸浴，包括以下组分：150‑200g/L硫酸铜，60‑200g/L浓硫酸、50‑80g/L氯化物离子和0.0001‑0.1g/L均镀剂；其中，所述均镀剂的制备方法包括：将环状聚合物和含氮多元环加1‑2L水，搅拌40‑120h后得到均镀剂；其中，所述环状聚合物选为聚醚酰亚胺和环糊精；所述环状聚合物与含氮多元环的重量比为1：（2.8‑8.6）。本申请的酸浴通过合理配比各成分之间的用量比例范围，使得待镀铜制品置于上述酸浴后经电解沉积法可获得具有较高表面均匀度的镀层产品。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积物 均镀剂 制备 方法 | ||
【主权项】：
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