[发明专利]一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材处理方法在审
| 申请号： | 202111481164.7 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114507859A | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 王维;潘春林;李自杰;林秋玉 | 申请（专利权）人： | 福建中安高新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20;C23F1/26;C23F11/10;C23F11/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区软*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种蚀刻液及其制备方法、金属膜材的处理方法。所述蚀刻液含有以下重量份数的各组分：50‑80份的磷酸，1‑10份的硝酸，10‑30份的醋酸，0.01‑1份的金属缓蚀剂，0.01‑1份的表面活性剂，余量为水；所述表面活性剂包括壬基酚聚氧乙烯醚和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐；所述金属缓蚀剂包括醋酸钾、磺化木质素、膦羧酸、琉基苯并噻唑中的至少一种。该蚀刻液可控性强、蚀刻均匀性好、蚀刻角度平滑、精度高，能在短时间内完成材料的蚀刻，蚀刻后金属膜材的关键尺寸损失小于0.5μm，蚀刻角度小于60°，玻璃面板表面无残留。并且可以同时满足铝膜、铝合金膜、钼膜、钼合金膜，以及不同厚度叠加的钼‑铝叠层膜、铝‑钼‑铝叠层膜和钼‑铝‑钼叠层膜的蚀刻要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 及其 制备 方法 金属膜 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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