[发明专利]投影物镜系统有效
| 申请号： | 202111483415.5 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114019661B | 公开（公告）日： | 2023-09-26 |
| 发明（设计）人： | 夏智锋;张志清;古志良;许毅钦;邢景超;李鸿;陈博谦;陈志涛;赵维 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司 11463 | 代理人： | 戴尧罡 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了一种投影物镜系统，涉及光学器件技术领域，该投影物镜系统包括沿光路设置第一透镜群组、光阑、第二透镜群组以及分光器，从而构成了物镜系统本体，第一透镜群组的焦距f1与物镜系统本体的焦距f之比在22到23之间，且第二透镜群组的焦距f2与物镜系统本体的焦距f之比在2到3之间。通过对第一透镜群组和第二透镜群组的焦距比例进行限定，使得镜头成像质量更好，具体通过光学设计提高相对孔径值的同时，又能保证成像质量，对亮度有不少的提升。相较于现有技术，本发明结构精简，对物镜系统参数做出有效改进，以达到更小的畸变，更均匀的光场分布，更清晰的画质，同时物镜系统稳定，像差平衡优异，公差合理。 | ||
| 搜索关键词： | 投影 物镜 系统 | ||
【主权项】：
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