[发明专利]一种限域型氢气传感器制备方法有效
| 申请号： | 202111484534.2 | 申请日： | 2021-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN114166902B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 胡庆敏;徐甲强;张景韬 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 范海燕 |
| 地址： | 200436*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及气体传感器技术领域，具体地说是一种限域型氢气传感器制备方法，在CNC上沉积20‑1000个循环的ALD SnO |
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| 搜索关键词： | 一种 限域型 氢气 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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