[发明专利]一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件在审
| 申请号： | 202111487286.7 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114352493A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 李兴达;吴辰宸;耿海;张兴民;孙新锋;贾连军;杨俊泰;吴先明;蒲彦旭;王尚民;刘超;李沛;张文涛;成荣 | 申请（专利权）人： | 兰州空间技术物理研究所 |
| 主分类号： | F03H1/00 | 分类号： | F03H1/00;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京元理果知识产权代理事务所(普通合伙) 11938 | 代理人： | 饶小平 |
| 地址： | 730013 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及航天空间推进技术领域，具体而言，涉及一种用于射频阴极的集成化气体分配及离子收集组件，包括气路接头、绝缘陶瓷、气体分配器以及离子收集电极，其中：气体分配器通过紧固螺母固定在放电室的陶瓷后盖处；气体分配器的一端与绝缘陶瓷焊接密封，另一端与离子收集电极一体成型，将离子收集电极固定在放电室的内部；气路接头与绝缘陶瓷焊接密封。本申请简化了结构，便于安装与拆解，实现了高效电离，放电室内部设置有大面积圆形离子收集电极，保证足够的离子收集面积，同时允许射频电磁场有效进入放电室，本发明有利于射频阴极简化结构、增加电离效率和工质利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 射频 阴极 集成化 气体 分配 离子 收集 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州空间技术物理研究所，未经兰州空间技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111487286.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
