[发明专利]有机锡-无机锡杂化Sn18在审

专利信息
申请号: 202111488915.8 申请日: 2021-12-07
公开(公告)号: CN114167685A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 张献明;田秀娟;郁有祝 申请(专利权)人: 山西师范大学
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004
代理公司: 成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙) 51244 代理人: 廖曾
地址: 030000 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种有机锡‑无机锡杂化Sn18型晶态锡氧簇合物及其制备方法,属于无机化学领域。采用取代苯甲酸、苯基膦酸、SnCl4·5H2O和丁基锡酸为原料,以乙腈、异丙醇和水为混合溶剂,在100℃下通过自组装反应,制备出三例有机锡‑无机锡杂化Sn18型晶态锡氧簇合物。本发明材料具有精确结构信息、高度疏水性和良好稳定性,有望作为一种新型的锡氧簇材料用于EUV光刻技术中光刻胶的制备。且其原料易得,制备方法简单,产率高,可实现低成本、高效益。
搜索关键词: 有机 无机 锡杂化 sn base sub 18
【主权项】:
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