[发明专利]一种晶硅表面电池的碱抛光方法有效
申请号: | 202111494449.4 | 申请日: | 2021-12-09 |
公开(公告)号: | CN113903832B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 李一鸣;赵晶;张震华 | 申请(专利权)人: | 绍兴拓邦电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0216;C09K13/00;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/50 |
代理公司: | 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 | 代理人: | 徐锋 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市越*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶硅表面电池的碱抛光方法,属于晶硅处理技术领域,具体涉及将多晶硅片进行清洗处理得到处理后的多晶硅片,多晶硅片上无二氧化硅氧化层;将处理后的多晶硅片于抛光液中处理得到了抛光后的多晶硅片;抛光液中含有四甲基氢氧化铵、异丙醇和三嗪衍生物,三嗪衍生物为三聚氯氰上的氯被至少一个L‑半胱氨酸取代的取代物的混合物。经本发明碱抛光液抛光后的多晶硅片的抛光面的反射率提高,反射率提高了6‑15%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的少子寿命提高,少子寿命提高了30‑60%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的转换效率,转换效率提高了0.1‑0.7%。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 电池 抛光 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的