[发明专利]一种晶硅表面电池的碱抛光方法有效

专利信息
申请号: 202111494449.4 申请日: 2021-12-09
公开(公告)号: CN113903832B 公开(公告)日: 2022-02-25
发明(设计)人: 李一鸣;赵晶;张震华 申请(专利权)人: 绍兴拓邦电子科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216;C09K13/00;C23C16/02;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/50
代理公司: 绍兴锋行知识产权代理事务所(普通合伙) 33460 代理人: 徐锋
地址: 312000 浙江省绍兴市越*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种晶硅表面电池的碱抛光方法,属于晶硅处理技术领域,具体涉及将多晶硅片进行清洗处理得到处理后的多晶硅片,多晶硅片上无二氧化硅氧化层;将处理后的多晶硅片于抛光液中处理得到了抛光后的多晶硅片;抛光液中含有四甲基氢氧化铵、异丙醇和三嗪衍生物,三嗪衍生物为三聚氯氰上的氯被至少一个L‑半胱氨酸取代的取代物的混合物。经本发明碱抛光液抛光后的多晶硅片的抛光面的反射率提高,反射率提高了6‑15%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的少子寿命提高,少子寿命提高了30‑60%;包覆氧化铝钝化膜的电池片的转换效率,转换效率提高了0.1‑0.7%。
搜索关键词: 一种 表面 电池 抛光 方法
【主权项】:
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