[发明专利]一种吸附检测装置及吸附检测方法有效
| 申请号： | 202111495166.1 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114166952B | 公开（公告）日： | 2023-08-29 |
| 发明（设计）人： | 刘晓亮;尹影;庞浩;司马超;王艺博 | 申请（专利权）人： | 北京晶亦精微科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/00 | 分类号： | G01N30/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 林韵英 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸附检测装置及吸附检测方法。吸附检测装置包括：承载体；柔性膜单元，柔性膜单元包括第一柔性膜、第二柔性膜、第三柔性膜和柔性连接体，第一柔性膜、腔顶壁、第一顶侧壁和第二顶侧壁围成第一调压腔，柔性连接体、第二柔性膜、第一柔性膜、第一底侧壁、中心区的底面和第一子边缘区的底面之间围成第二调压腔，第三柔性膜位于第二柔性膜和柔性连接体的底部，第三柔性膜、第二底侧壁、柔性连接体和第二柔性膜围成第三调压腔；控制模块，控制模块适于控制第一调压腔、第二调压腔和第三调压腔的压强。所述吸附检测装置改变了由弹簧控制气路通断的方式，避免了由于弹簧的弹性系数选取不当导致吸附晶圆失败，甚至引发晶圆碎片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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