[发明专利]一种磨片在线回收的浆液利用方法有效
| 申请号： | 202111501895.3 | 申请日： | 2021-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN114193329B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 姚科新;费港凯;吴延;向东;孙晨光;王彦君;曹锦伟 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B57/00;B24B37/005;B24B37/34;B03C1/30 |
| 代理公司： | 北京鑫知翼知识产权代理事务所(普通合伙) 11984 | 代理人： | 孙长江 |
| 地址： | 214000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磨片在线回收的浆液利用方法，其利用方法包括以下步骤：S1、首先启动隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至总回收罐【RCV】，总回收罐【RCV】中废砂浆通过除铁锈装置【MGS】去除铁粉，将处理完的废液向分级调和桶【SEP】送液，分级调和桶【SEP】调和桶显示从总回收罐【RCV】收入废液的比重，通过离心机分级处理，将处理过的废液输送给再生调和桶【RMX】。本发明能够实现从回收过滤到混合配比实现全流程电气化自动化控制，创新式使用水分离装置将硅粉分离，过程各部分比重实时监控并自主调节，进而控制循环砂浆的粒径分布、铁粉、硅粉含量和比重，并实现砂浆的重复循环利用，最终达到提升品质，降低成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 回收 浆液 利用 方法 | ||
【主权项】：
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