[发明专利]一种垂直结构LED芯片及其制作方法在审
申请号: | 202111505447.0 | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN114242866A | 公开(公告)日: | 2022-03-25 |
发明(设计)人: | 杨克伟;曲晓东;赵斌;罗桂兰;林志伟;陈凯轩;蔡玉梅;崔恒平;蔡海防 | 申请(专利权)人: | 厦门乾照光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/40 | 分类号: | H01L33/40;H01L33/14;H01L33/46;H01L33/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 361101 福建省厦门市厦门火*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明提供了一种垂直结构LED芯片及其制作方法,本发明提供的垂直结构LED芯片,通过在基板表面依次设置键合层、防扩散层、金属反射镜以及外延叠层;其中,所述防扩散层用于防止所述键合层的金属扩散,从而提高产品的可靠性以及外量子效率,此外,所述防扩散层层叠于所述金属反射镜的表面,亦可同步实现金属反射镜中的金属迁移;进一步地,将所述键合层设置为包括含有Sn合金的键合层,将低成本金属Sn代替贵金属Au,可明显降低LED芯片的制造成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 垂直 结构 led 芯片 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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