[发明专利]一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法有效
| 申请号： | 202111507267.6 | 申请日： | 2021-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN114252243B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 徐富超;李云;林妩媚;谢强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微柱面透镜阵列的检测装置和方法，该装置包括微柱面透镜阵列(101)，工装(102)，绕Z轴的旋转台(201)，沿X轴和Y轴的二维平移台(202)，Z轴方向高度接触测量设备(203)和计算机(204)。通过工装(102)特征的测试，准确快速调整微柱面透镜阵列(101)的位置，微柱面透镜阵列(101)的测试能精确沿母线的垂直方向。通过对微柱面透镜阵列(101)测试数据的多单元联合处理，能快速准确获得微柱面透镜阵列(101)的曲率半径、周期和面形误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柱面 透镜 阵列 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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