[发明专利]一种镜片六自由度柔顺机构运动台

摘要

本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，包括：镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链，X向、Y1向和Y2向驱动电机，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置，并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX、θY方向调节。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。