[发明专利]一种旋转稀土靶材及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 202111515724.6 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114250461B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 谢迎春;马文花;张科杰;卢冰文;赵仕杰;俞泽新;黄仁忠 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所;广东省科学院工业分析检测中心 |
| 主分类号： | C23C24/08 | 分类号： | C23C24/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 宋南 |
| 地址： | 510650 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种旋转稀土靶材及其制备方法与应用，属于稀土靶材技术领域。该方法包括：在真空无氧环境下，以电磁复合场复合温喷涂的方式于靶材背管表面沉积稀土喷涂粉末。靶材背管的内部设有沿靶材背管轴向延伸的永磁铁棒，制备过程中，靶材背管处于旋转状态。通过采用温喷涂的方式，可在材料熔点以下，有效对稀土元素进行加热，并可初步提升粉末的沉积速度；通过设置永磁铁棒，可使喷涂粉末得到二次加速，有利于改善沉积靶材的表面成形质量，显著提升靶材材料与背管的结合强度，表面裂纹得到有效抑制，显著降低了内部裂纹的形成概率，内部气孔消失。为制备大尺寸、低氧化、高纯度、细晶粒、高结合、低成本的稀土靶材提供了新的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 稀土 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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