[发明专利]一种硅片加热装置及方法

摘要

本申请公开了一种硅片加热装置及方法，属于太阳能电池技术领域。包括：壳体，壳体形成密封腔，密封腔用于放置载体，载体装载有硅片；气流组件，气流组件向密封腔内通入气体，气流组件设置于密封腔的内壁上；加热组件，加热组件在密封腔内释放热量，加热组件与气流组件连接。将载体送入密封腔，降低所述密封腔内的压强，通过加热组件对密封腔加热，并通过气流组件向密封腔内排入气体，提高密封腔内的热量传导。在本申请实施例中，当装载有硅片的载体进入密封腔后，气流组件和加热组件能够同时工作，增强了密封腔内的热传导效率，具有使得对流在载体周围的热量更均匀、加热效率更高的有益效果。