[发明专利]一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用在审
申请号: | 202111526817.9 | 申请日: | 2021-12-13 |
公开(公告)号: | CN114130045A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 徐平;胡强;朱智渊;刘宏;沈若尧;何斌;黎天韵;黄星星 | 申请(专利权)人: | 季华实验室 |
主分类号: | B01D1/00 | 分类号: | B01D1/00;B01D1/30 |
代理公司: | 佛山市君创知识产权代理事务所(普通合伙) 44675 | 代理人: | 王瑞长 |
地址: | 528200 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种超净高纯电子化学品的蒸发浓缩装置及其应用,其中的蒸发浓缩装置包括外壳体、内壳体、真空抽气设备以及加热组件;所述外壳体的内腔为一级真空腔体,所述内壳体的内腔为二级真空腔体,所述一级真空腔体和二级真空腔体分别与所述真空抽气设备连接;所述内壳体设置在所述一级真空腔体中,所述外壳体和内壳体的顶部处设有用于密封一级真空腔体和二级真空腔体的顶部开口的顶盖密封组件,所述顶盖密封组件可拆卸设置在所述外壳体和内壳体顶部,所述加热组件的发热端作用在所述内壳体上;所述二级真空腔体中设有用于固定装有样品的烧杯的固定架。本发明实现对超净高纯电子化学品的蒸发浓缩,且快速高效,维护成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 净高 电子 化学品 蒸发 浓缩 装置 及其 应用 | ||
【主权项】:
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